轉(zhuǎn)載請注明來源：各行各業(yè)對無塵車間潔凈度等級的要求http://www.suofeier.cn/hangye/6288.html

現(xiàn)今，無塵車間潔凈技術(shù)已廣應用于各行各業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制，由于各行各業(yè)的產(chǎn)品特性不同、各種產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝不相同，使用要求不同，因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容、指標均不會相同。所謂無塵車間的環(huán)境控制的內(nèi)容應該包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學品和生產(chǎn)設備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。所以無塵車間的設計不僅要求對室內(nèi)的空氣進行凈化達到規(guī)定的空氣潔凈度等級，還應該防止因無塵車間的建造用材料、裝飾方式不當帶來的污染，有的無塵車間還要求供給超純水、超純氣體和高純的化學品等。

1、半導體集成電路要求的空氣潔凈度等級

集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔凈度等級是依據(jù)可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。

舉例說明：

例一、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設計按加工、生產(chǎn)6英寸硅片、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.

無塵車間空氣潔凈度等級要求：

光刻、勻膠區(qū)

ISO3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區(qū)

ISO3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區(qū)

ISO5級

例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設計按加工、生產(chǎn)5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.

無塵車間空氣潔凈度等級要求：

光刻、勻膠區(qū)

ISO3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區(qū)

ISO4級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區(qū)

ISO6級

2、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

隨著信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展，許多電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級和控制無塵車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量，目前國內(nèi)外還沒有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)工藝設備、生產(chǎn)用原輔料以及無塵車間運行的實踐經(jīng)驗確定設計建造無塵車間的空氣潔凈度等級。

舉例說明：

例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產(chǎn)用無塵車間，TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕、易攜帶、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨示等優(yōu)點。

各無塵車間空氣潔凈度等級，控制粒子粒徑為0.3um

清洗、涂膠、曝光間

ISO4級

顯影、刻蝕間

ISO5級

成盒間

ISO5級

濺射、CVD間

ISO6級

例二、某高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠房、無塵車間控制微粒粒徑0.5um

各無塵車間的空氣潔凈度等級要求

涂布頭

ISO5級

備件、切帶、帶基、測試、涂布間和烘干、固化間

ISO6級

組裝、維修間和部分原料庫

ISO7級

砂磨、化驗間和配件間

ISO8級

成品庫和部分原料庫準潔凈間

3、*密機械、精細化工等產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

例一、一個陀螺儀生產(chǎn)用無塵車間

無塵車間空氣潔凈度等級要求

裝配間

ISO6級

軸承加工間

ISO5級

例二、一個感光膠片生產(chǎn)用無塵車間

流延機頭部，涂布機頭部

ISO5級

涂布室，流延機室

ISO5級